作者：赵文锋; 陈俊芳; 宋淑然; 许利霞; 薛秀云icp氮化硅纳米粉
摘要：用硅烷和氮气为反应气体,采用ICP等离子体化学气相沉积技术合成氮化硅纳米粉体.用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用TEM分析了纳米氮化硅的显微形貌,结果表明:纳米氮化硅粉体颗粒为球形,分布于20～40nm.
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《山东陶瓷》（双月刊）创刊于1978年，由淄博市工业和信息化局主管，淄博市陶琉轻纺产业发展中心;山东省硅酸盐研究设计院;山东省陶瓷工业科技情报站主办，CN刊号为：37-1221/TQ，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。 《山东陶瓷》内容包括日用瓷、建筑卫生瓷、工业陶瓷、窑炉及相关耐火材料等无机非金属材料工业的新技术、新材料、新成果、新设备的研制推广和应用。
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