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多晶硅还原炉U-I曲线计算与分析

作者:杨楠; 杨志国; 詹水华; 赵建多晶硅还原炉

摘要:以18对棒多晶硅还原炉为研究对象,通过热量平衡,分析了硅棒辐射散热Q1,进出气相物料焓变Q2,以及反应热Q3,计算了不同生长阶段还原电源系统需要供给的总功率P。同时结合多晶硅的电阻特性和欧姆定律,得到18对棒多晶硅还原炉的U-I曲线。在此基础上分析了还原炉内壁黑度ε2、硅棒表面温度T1、SiHCl3的进料曲线和硅棒长度l等对U-I曲线的影响。最后与实际运行过程中的U-I曲线进行了对比分析。本文结果可以直接作为18对棒多晶硅还原炉电源系统的U-I曲线,分析过程和计算方法也可为其他类型的多晶硅还原炉U-I曲线设计提供参考。

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四川化工

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