作者：宋健; 张清旭mocvd系统漏率检测氦质谱检漏仪法
摘要：介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率,辅助分析产品的缺陷,最后给出降低MOCVD系统漏率的有效措施。
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《设备管理与维修》（CN：11-2503/F）是一本有较高学术价值的大型半月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《设备管理与维修》行业覆盖（读者群）：机械、化工、轻工、建材、冶金、电子、纺织、地矿、电力、煤炭、铁道、交通、石化、航空航天、有色金属、船舶、汽车、军工等领域。
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