激光cvdcvd设备热加工预处理单元专利离子状态密封膜电弧放电等离子气体
摘要：将提供一种激光CVD设备，该设备能够加强由激光CVD形成的膜与基底的膜的形成面之间的粘连，并且防止膜本身的破裂。该设备包括：等离子预处理单元，其用于通过电弧放电将预处理气体变成等离子状态，并且将等离子状态的气体提供到膜的形成面：以及膜的形成单元，其具有用于密封膜合成气体而与外部大气隔离的装置．还具有用于将激光束辐射到膜合成气体的装置，其中在基底的膜的形成面的上面形成膜。
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