集成电路制造制造装备研发高密度等离子体国家863计划离子注入机项目验收核心设备
摘要：国家863计划集成电路制造装备重大专项“100nm高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，通过科技部与北京市组织的项目验收。这是我国国产主流集成电路核心设备产品第一次实现销售，标志着我国集成电路制造核心装备研发取得重大突破。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《润滑与密封》（CN：44-1260/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《润滑与密封》内容主要包括：1)摩擦学各领域的试验研究、理论探讨、科研成果的报道，促进我国摩擦学界的技术交流。2)摩擦学的科研成果（新材料、新技术、新工艺、新设备）在工业界的实际应用情况的报道，促进我国摩擦学研究成果的工业应用。
统计源期刊
人气 24626 评论 57
