作者：李政宏; 叶晓军; 杨宁; 袁晓; 柳翠; 李红...hit太阳电池形貌修饰naclo绒面钝化
摘要：在HIT太阳电池非晶硅沉积过程中,单晶硅衬底的绒面金字塔沟壑处易发生外延生长,影响电池输出性能。采用碱性体系(NaClO溶液)对硅片进行绒面形貌修饰,在NaOH的各向异性刻蚀和NaClO的氧化作用下,金字塔结构由尖锐的四面体向较圆滑的“锥形”转变,尤其金字塔底部变得平滑。随着形貌修饰时间的增加,样品表面平均反射率呈线性增大,从未修饰样品的12.48%升高至13.79%,钝化后硅片少子寿命显著提升,绒面形貌修饰有效改善了界面钝化质量,中长波外量子效率提升,从而实现电池电性能的提升。样品绒面形貌修饰45 min后,开路电压从656.3 mV升高至699.8 mV,转换效率提高1.8%。此外,研究了反应温度对表面形貌修饰及HIT太阳电池性能的影响,基于70℃、10%NaClO溶液、45 min的绒面修饰条件下制备的HIT太阳电池转换效率达到最高,为12.02%。
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