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化学气相沉积制备铜锌合金微米杆

作者:靳英坤 李焕勇cu3zn合金微米杆化学气相沉积生长机制

摘要:采用化学气相沉积的方法,以锌粉、硝酸铜为原料,在硅衬底上制备了铜锌合金微米杆。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对沉积产物的结构、形貌和成分进行了测试与表征。结果表明,生长的铜锌合金微米杆为金属间化合物Cu3Zn合金,为立方相结构,直径在0.1~5μm之间,长度可达3~30μm。锌在铜锌合金微米杆的生长中起着至关重要的作用。铜锌合金微米杆的生长属于气固反应诱导下的气液固(VLS)生长机制,与经典的气液固(VLS)生长机制具有明显不同的特点。

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人工晶体学报

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