作者：钟志有 顾锦华掺铝氧化锌薄膜磁控溅射微观结构光电性能
摘要：以ZnAl2O4陶瓷靶为靶材,采用射频磁控溅射法制备了掺铝氧化锌（ZAO）透明导电薄膜,通过XRD、SEM、四探针仪和分光光度计等测试,研究了沉积温度对薄膜结构、形貎、力学和光电性能的影响。结果表明：ZAO具有（002）择优取向的六角纤锌矿结构,沉积温度对薄膜性能具有明显影响,当温度位于370～400℃区间时,薄膜的结晶质量较好、电阻率较低、可见光波段的平均透射率较高,其品质因数大于1.20×10-2 S,具有良好的光电综合性能。同时基于透射光谱计算了ZAO薄膜的光学常数,并用有效单振子理论解释了薄膜的折射率色散关系。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
