作者：张丽伟 余泽通 杨根 卢景霄微晶硅薄膜微观结构微观形貌
摘要：用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)法在玻璃衬底上低温制备了不同沉积时间微晶硅薄膜。用拉曼散射光谱仪、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等表征手段对薄膜的微观结构进行了研究。研究结果表明:随着沉积时间的延长,薄膜呈岛状生长,薄膜晶粒度在微晶核形成后迅速升高并逐渐饱和;其微观结构经历了"非晶相→非晶/微晶混合相→微晶相"的演变过程。本实验制备的微薄膜仍以(111)为优化取向。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
