φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

作者：于旭东; 孙广年; 张会选; 吕进; 王进学; ...大直径al2o3晶体温度梯度晶体开裂

摘要：采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm×180mm大尺寸Al2O3晶体。探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系，并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系，分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因，设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件。

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