作者：赵宝君; 祝福生; 王文丽; 郭立刚; 秦亚奇...高洁净清洗设备上下料
摘要：随着IC制造行业对晶圆表面高洁净的要求,半导体清洗设备向高自动化、多功能化的方向发展,这就对设备上下料技术方案提出了新的要求和挑战。文章结合IC制造行业中全自动半导体清洗设备的发展现状,对其上下料技术方案进行了详细介绍与研究。阐明了目前上下料技术的发展现状及方向。可以为未来高端清洗设备的上下料技术方案提供参考。
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《清洗世界》（CN：11-4834/TQ）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《清洗世界》是国内工业清洗、商用保洁行业唯一的专业技术刊物，曾获得国家"优秀期刊"三等奖、中国石油和化学工业优秀期刊二等奖等荣誉。刊物主要立足于中国的工业清洗、商业保洁、民用洗涤等领域。
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