作者：王文丽; 黄鑫亮; 夏楠君; 祝福生; 赵宝君...单晶圆擦洗优化
摘要：本文基于单晶圆擦洗的原理,分析了单晶圆擦洗常见的两种方案的缺点,提出了适合单晶圆擦洗的优化方案。
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《清洗世界》（CN：11-4834/TQ）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《清洗世界》是国内工业清洗、商用保洁行业唯一的专业技术刊物，曾获得国家"优秀期刊"三等奖、中国石油和化学工业优秀期刊二等奖等荣誉。刊物主要立足于中国的工业清洗、商业保洁、民用洗涤等领域。
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