清洗装置石英晶片隔离式一体化气液旋转清洗器管连接
摘要：本发明公布了一种气液一体化石英晶片旋转隔离式清洗装置，它包括设在转盘上的气液清洗器；气液清洗器浸泡在内清洗池中；内清洗池外设置有环形清洗池：内清洗池与环形清洗池之间设置有过滤墙；气液清洗器包括盖板和底座；盖板和底座内部设有总气管：总气管通过连接软管连接：进气软管连接高压氮气供应系统；盖板和底座内壁上设置有进气孔和进液孔：进气孔连通总气管；盖板和底座外壁上设有导液叶片：底座内壁上设有放置凹槽；放置凹槽侧壁设有排出孔，排出孔连通总排出管，总排出管设置有分离管：分离管出口设置在环形清洗池内。它能实现一次对多个石英晶片进行均匀的气液清洗，污渍去除率高，清洗速度快，并使清洗后的石英晶片表面能快速干燥。
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