作者：蔡晓玲多晶硅氢气三氯氢硅四氯化硅氯硅烷还原尾气安全生产
摘要：本文通过介绍氢气生产在多晶硅生产过程中的实际应用,强调了氢气安全生产对多晶硅的重要性,为多晶硅行业生产提供了有价值的参考。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《气体分离》是一本有较高学术价值的大型双月刊，是国内第一本专门收集气体分离工程设备、配件、辅助材料的价格信息和市场供销行情的专业信息刊物。自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度，颇受业界和广大读者的关注和好评。
部级期刊
人气 8175 评论 44
省级期刊
人气 3003 评论 10
统计源期刊
人气 2788 评论 10
人气 2688
