作者：唐德华 曹益平脉冲激光光剂量实时监控脉冲分组能量积分
摘要：精确控制脉冲激光加工光剂量是保证加工产品工艺和质量的关键。在对现有的光剂量控制算法进行分析后，提出了基于脉冲分组的光剂量监控新算法，有效提高了光剂量监测精度和反馈控制速度。设计了光剂量监控系统，实现了脉冲激光加工光剂量实时监测及反馈控制。与Ophir公司的StarLab激光能量测量系统相比，500个激光脉冲以内的总能量测量，本系统测量误差不超过±0．15％。对一套脉冲最大重复频率为10kHz、单脉冲最大能量为5mJ、恒压工作下最大能量波动为±10％的脉冲激光加工系统光剂量进行了监控实验。在本系统的监控下，可将目标光剂量为150mJ／mm以内的加工光剂量控制精度和重复精度分别控制在0．90％和0．100mJ/mm以内，同时将光剂量反馈控制速度提高了4倍。
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