作者：庄娟 王德真 刘莉莹极板电压极板间距大气压射频氩等离子体放电参数atmosphericpressure粒子数密度放电空间放电过程流体力学模型反应系数电场氩原子离子流平衡方程连续性方程演化过程密度分布金属电极激发态
摘要：基于1维流体力学模型,对大气压射频裸露金属电极氩气放电过程进行了研究.模型中考虑了氩等离子体放电过程中主要发生的激发和电离等7个反应过程,对等离子体反应产生的主要粒子,包括电子、氩原子离子Ar+、氩分子离子Ar+2和氩激发态Ar·等,建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程.分析了极板电压、极板间距对上述粒子数密度分布的影响.给出了电子,Ar+,Ar·和Ar+2密度随极板电压及间距变化的时空演化过程.得出极板电压或极板间距的改变会使放电空间的电场发生改变,对应一定的极板间距,极板电压有一个最佳值,极板电压和间距的变化会使对应的极板间有一个最佳电场值,而对应最佳电场有一个等离子体气体间最佳反应系数,从而使放电空间粒子数密度发生改变.
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