作者:游利兵 梁勖 余吟山 李会 王庆胜 王效顺准分子激光全固态脉冲电源磁开关可控硅磁脉冲压缩
摘要:针对脉冲能量5~8mJ的ArF准分子激光器,设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源,采用园产可控硅和磁开关材料,获得了上升时间约150EIS,电压10~14kV,传递能量0.35~0.68j的激励脉冲,并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35%,分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大,并提出了相应改进办法。
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