作者：郭袁俊; 祖小涛; 蒋晓东; 袁晓东; 徐世珍...zro2薄膜激光损伤阈值热吸收孔隙率损伤形貌电子束热蒸发
摘要：分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜，测试了两类薄膜的激光损伤阈值。分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌。实验结果表明：两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关，物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑，膜层的杂质和缺陷多；化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔，膜层纯净杂质少，激光损伤阈值达26．9J／cm^2；因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收（115．10×10^-6）和更小的孔隙率（0．20），其激光损伤阈值较小（18．8J／cm^2），损伤主要为溅射和应力破坏，而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层。理论上对实验结果进行了解释。
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