作者：沈军; 罗爱云; 吴广明; 林雪晶; 谢志勇; ...hfo2薄膜热处理紫外辐照激光损伤阈值
摘要：采用化学法制备了HfO2介质膜，研究了热处理、紫外辐照以及Al2O3复合对HfO2介质膜激光损伤阈值的影响。采用红外光谱（FTIR）和X射线衍射仪对薄膜进行了表征，并用输出波长为1．064μm、脉宽为10ns的电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值。实验结果表明：采用150℃左右的温度对薄膜进行热处理可以提高薄膜的激光损伤阈值，所获得的薄膜的激光损伤阈值高达42．32J／cm^2，比热处理前的激光损伤阈值提高了82％；无机材料Al2O2的适量添加能够提高薄膜的激光损伤阈值，其中HfO2与Al2O2的最佳质量配比约为95：5；另外，对薄膜进行适当的紫外辐照也可改善HfO2薄膜以及HfO2—Al2O2复合薄膜的抗激光损伤性能。紫外辐照对提高HfO2-Al2O3复合薄膜的激光损伤阈值效果尤为显著，辐照40min后的激光损伤阈值达到44．33J／cm^2，比紫外辐照前的激光损伤阈值提高了90％。
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