作者：张宝顺; 肖建忠; 鲍守珍; 宗冰; 魏东亮; ...低温等离子体分子活化氯硅烷二氧化碳臭氧仿真模拟
摘要：等离子体是由自由电子、离子和中性粒子组成的非束缚态宏观体系,是除去固、液及气态外,物质存在的第四态.按照热平衡状态,等离子体可以分为完全热力学平衡等离子体、局部热力学平衡等离子体以及非热力学平衡等离子体.非热力学平衡等离子体（低温等离子体）由于产生装置简单、容易制造、宏观温度低等优势,近年来成为各领域广泛研究的热点.本文重点论述低温等离子体技术在多晶硅行业的应用现状及前景,并结合青藏高原特点,提出低温等离子体技术在青藏高原环保方面的应用.
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