作者：过金超; 吕晨生; 李洪涛; 曹宏静电吸附三极性电极绝缘层有限元分析
摘要：针对现有静电吸附方式吸附力不足问题,根据静电吸附阵列电场的分布特性构建了三极性静电吸附模型;然后基于有限元分析方法,以静电吸附阵列吸附力输出最大化为目的,对影响静电吸附阵列吸附力的电极间隙、电极宽度和绝缘层厚度等参数进行了优化设计.实验结果与有限元仿真具有很好的一致性,验证了三极性结构设计的有效性.在实际设计过程中,在满足电极之间击穿特性及绝缘层表面耐磨特性的前提下,应减小电极宽度和绝缘层厚度,增加电极对数,从而增加电极阵列的总体边缘长度,从而提高静电吸附阵列的吸附力.
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