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液相沉积类金刚石膜的沉积机理研究

作者:王红卫; 沈风雷; 孙敏; 闻获江类金刚石膜电化学亲电取代

摘要:根据电化学的相关理论,提出了钛合金表面液相沉积DLC膜的反应机理,给出了可能电极过程.认为膜是通过甲基阳离子的亲电取代反应而不断生长。讨论了氢原子对金刚石结构的稳定作用,并解释了实验条件对膜结构和性能的影响。

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能源化工

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