作者：王子宾 崔玉国 孙庆龙 郑军辉 邬亮恩压电微夹钳四自由度结构设计特性分析性能测试
摘要：为提高微夹钳操作微对象时的灵活性，探索四自由度压电微夹钳的实现问题，将制成相应形状并分割驱动电极的两片压电陶瓷晶片进行粘结，制作出微夹钳，并将两组空间垂直交叉的横向逆压电效应作用于钳指上，使单个钳指产生夹持方向和垂直于夹持方向的微位移，从而使整个微夹钳（两个钳指）具有4个自由度．在综合考虑微夹钳输出位移、固有频率、制作工艺的情况下，采用有限元分析方法，对钳指长度、宽度、厚度进行了优化，对优化后微夹钳的输出位移和振型进行了分析．对微夹钳的输出位移进行了测试，结果表明：在60V的最高驱动电压作用下，左、右两钳指沿夹持方向的最大位移分别为25．6μm、24．3μm，沿垂直于夹持方向的最大位移分别为32．1μm、30．9μm；两钳指的输出位移具有良好的重复性．
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