作者：马玉婷 陈忠祥 王策 严心涛压电扫描振镜光学扫描谐振有限元模拟
摘要：本文设计了一维金属基压电扫描振镜并进行了性能测试．该振镜利用金属微铰链梁将压电振子的伸缩振动转化为硅反射镜的旋转振动，具有扫描角度大、可靠性高、成本低廉的特点．首先，建立了压电振镜的有限元模型，通过模态分析和谐振响应分析得到了振镜的谐振模态以及扫描角度极限随铰链梁尺寸和位置的变化关系．接着，制备了由压电振子、钢片基底和硅反射镜组成的振镜样机．最后，对振镜的幅频特性进行了性能测试．结果表明：2mm×2mm的反射镜在120Vpp的电压驱动下可在谐振频率5．34kHz处产生21°的扫描角度．随着驱动电压幅值的增加，一阶扭转谐振频率会略微下降．振镜样机Q值达144，扫描角度与驱动电压幅值呈线性关系．该振镜具有较大的镜面尺寸和扫描角度，制作工艺简单、抗冲击性能好，可满足流式细胞扫描成像高分辨率和模块化、批量化的应用需求．
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