作者：陈小刚 彭小强 铁贵鹏 关朝亮 郭蒙气体静压导轨有限差分法高刚度光学加工
摘要：采用有限差分法求解气体静压润滑的二维Reynolds方程，其静态特性规律显示减小节流孔径可以提高气体静压导轨刚度，但是减小了气膜最佳工作间隙，对节流面的面形精度提出了更高的要求．采用直径50μm的节流孔，在50mm×50mm的滑块上实现了50N／μm的最大刚度，并且试验结果与理论计算基本一致，从工程上验证了减小节流孔径实现高刚度的可行性．根据理论分析优化了导轨上滑块的节流孔的布局，设计了基于直径50μm节流孔的高刚度气体静压导轨；直径50μm节流孔对应的气膜工作间隙为5～7μm．采用光学加工的方法研制了基于光学材料（K9玻璃）的气体静压导轨，其良好的面形精度满足了小间隙气膜的润滑要求．
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