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纳米技术与精密工程杂志

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主管单位:Ministry of Education of the People’s Republic of China  主办单位:Tianjin;University;Chinese;Society;of;Micro-Nano;Technology

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纳米技术与精密工程 2007年第04期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志纳米技术
微米纳米科学技术发展及产业化启示第235-241页
关键词: 微机电系统;  纳米科技;  发展现状与趋势;  
硅纳米板杨氏模量的尺度效应第242-244页
关键词: 纳米板;  杨氏模量;  尺度效应;  
薄膜制备中的微蚀孔问题第245-248页
关键词: 浓硼重掺杂硅薄膜;  深刻蚀;  微蚀孔;  
基于X光光刻的亚波长光栅第249-252页
关键词: 亚波长光栅;  x光光刻;  高深宽比;  
BOE溶液腐蚀PN结N型区域现象第253-255页
关键词: 选择性腐蚀;  boe溶液;  pn结;  硅纳米线;  
多孔模板法制备热塑性聚氨酯(TPU)纳米管第256-260页
关键词: 多孔模板法;  热塑性聚氨酯;  纳米管;  浸润机理;  
纳米技术与精密工程杂志微机电系统
MEMS变形镜用PZT厚膜致动器阵列的制备及性能表征第261-265页
关键词: 变形镜;  压电陶瓷;  刻蚀;  
一种基于光子晶体结构的新型MEMS红外光源第266-268页
关键词: 表面等离子体共振;  微机电系统;  红外光源;  波峰强度;  反射率;  
亚波长金属光栅偏振器设计第269-272页
关键词: 亚波长光栅;  金属光栅偏振器;  严格耦合波理论;  等效介质理论;  
激励功率对微机械谐振梁谐振频率的影响第273-276页
关键词: 谐振梁;  激励功率;  谐振频率;  
基于应力集中的压阻式微悬臂梁设计第277-280页
关键词: 微悬臂梁;  压阻效应;  应力集中区域;  有限元分析;  灵敏度;  
聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验第281-284页
关键词: 悬臂梁;  有限元分析;  光刻;  
可靠性预计模型第285-288页
关键词: 微加速度计;  可靠性;  预计模型;  失效率;  
基于LIGA工艺的横向变形MEMS定位机构设计第289-292页
关键词: 定位机构;  liga工艺;  镍;  弹性模量;  
用于加速度计接口电路的新型Σ-Δ电压-频率转换器的设计第293-297页
关键词: 压频转换器;  高线性度;  加速度计接口电路;