作者：恩德; 魏建霞; 徐可欣; 童峥嵘; 陈才和; ...微光机电系统简谐振子优化设计腐蚀
摘要：介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件——简谐振子的工作和设计原理，并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素．在实验中采用硅各向异性腐蚀法，制作出了高精度的硅微简谐振子．改进浓度配比的腐蚀液，在80℃时，腐蚀速率控制在（0.53±0.2）μm．测试结果表明：SiO2控制精度达到0.1μm，可应用于光电集成加速度地震检波器的集成光学器件中．
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《纳米技术与精密工程》（CN：12-1458/O3）是一本有较高学术价值的大型季刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《纳米技术与精密工程》主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者。
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