作者：周林; 戴一帆; 解旭辉; 焦长君; 李圣怡离子束加工光学零件加工ceh模型
摘要：驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题．通常，离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程，理论上通过反卷积即可以求解出驻留时间．然而，反卷积问题是一个病态问题，所以驻留时间一般较难很好地求解出．为了解决这个问题，介绍了一个离散的线性模型——CEH模型，分析了该模型的优点．提出应用截断奇异值分解法（TSVD）来求解CEH模型；深入分析了该方法的优点，并利用“L-曲线”分析了驻留误差和加工量之间的关系以及用“L-曲线”对CEH模型中去除点和驻留点的不同取法进行了评价．仿真结果表明，CEH模型和TSVD方法对于求解光学镜面离子束加工中的驻留时间很有效．
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
