纳米技术与精密工程杂志CSCD期刊统计源期刊

纳米技术与精密工程 2006年第02期杂志 文档列表

纳米技术与精密工程杂志精密测量

坐标测量系统的几何误差补偿第83-91页

关键词: 误差补偿；  坐标测量系统；  模型；  模型参数；  

精密直线运动平台的振动测试与分析第92-97页

关键词: 精密平台；  振动；  傅里叶变换；  小波变换；  多分辨率分析；  

一种三维图形定位技术及误差评定方法第98-102页

关键词: 图形定位；  重合误差；  最小二乘法；  误差评定；  

中国微米／纳米技术第八届学术年会会议通知第102-102页

关键词: 学术年会；  第八届；  中国；  mems技术；  会议；  微纳技术；  研究与开发；  高等学校；  跨学科；  

电容传感微小孔径的测量方法第103-106页

关键词: 电容传感器；  微小孔径；  非接触测量；  标定；  

用有限元法计算飞秒激光双光子成型点弹性模量第107-110页

关键词: 有限元；  飞秒激光双光子成型点；  弹性模量；  

纳米技术与精密工程杂志精密加工

微射出成型导光板的微结构分析第111-114页

关键词: 导光板；  微结构；  平面度；  复制性；  粗糙度；  微射出成型；  

飞秒激光双光子微细并行加工方法第115-117页

关键词: 飞秒激光；  多焦点聚焦；  并行加工；  

纳米技术与精密工程杂志微机电系统

基于微型杠杆结构谐振式差分微加速度传感器的理论建模第118-121页

关键词: 微机械电子系统；  谐振式微加速度传感器；  理论建模；  有限元模拟；  交叉轴串扰；  

基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征第122-127页

关键词: 光学微镜；  垂直扭转；  梳齿驱动；  折叠梁；  光学反射；  硅微加工；  

基于功能结构的MEMS弹簧设计方法第128-131页

关键词: 微机电系统；  弹簧；  功能结构；  刚度系数；  

新型压电驱动微流体混合器实验第132-135页

关键词: 压电悬臂梁；  微流体；  混合器；  

表面离化微热板的结构设计和优化第136-140页

关键词: 有限元方法；  微热板；  表面离化；  

力平衡式三轴微加速度计的设计与分析第141-145页

关键词: 三轴微加速度计；  差分电容；  灵敏度；  阳极键合；  模态分析；  

纳米技术与精密工程杂志纳米技术

基于AFM纳米硬度测量系统的实验第146-150页

关键词: 纳米压痕；  原子力显微镜；  纳米硬度；  弹性模量；  纳米原位测量仪；