作者：赵健 张国智齿轮运行性能概率有限元响应面蒙特卡罗法
摘要：研究材料特性参数对LIGA法加工的微小齿轮啮合系统运行性能的影响，基于不同的概率有限元分析方法进行了计算，首先，通过与赫兹接触理论计算结果的比较验证了有限元模型的准确性，此外，通过对不同的分析方法（响应面法和蒙特卡罗法）的计算结果的比较，可知响应面法较蒙特卡罗法可提高计算效率，应用该方法可有效地对微小齿轮系统运行的可靠性进行研究。
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