用于光网络通信的Si基光子集成器件的研究

作者：王启明si基集成光电探测器光学滤波器光开关光分路器光强衰减器

摘要：报导了可用于光网络系统终端OADM和OXC的Si基长波长量子阱窄带响应光电接收器,MOEMS和F-P TO宽频域光学滤波器,M-Z型TO光开关和MMI多路分束器以及可变光强衰减器.用应变层SiGe/Si MQW研制的RCE光电接收器响应谱半宽FWHM＜6 nm,外量子效率η＞4.2%;采用表面微机械加工的桥式光学滤波器,当外加电压0→50 V,连续可调谐范围达90 nm;采用全平面工艺研制的F-P腔TO滤波器,当外加电流0→57 mA时,连续可调谐范围达23 nm,FWHM＜0.5 nm.在SOI Si基片上研制的M-ZTO波导光开关,开关时间＜30μs,功耗～100 mW.开关消光比-13 dB和-10dB,1×4 MMI多路分束器输出光场的不均衡性＜0.36 dB,总插入损耗6.9dB.用背向对接的MMI构成的M-Z干涉仪实现了光强的可变调最大衰减量26 dB,响应时间100μs,插入损耗4.8～7dB.

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