作者：刘金秋; 彭立华; 秦善熔融石英坩埚氮化硅结晶度
摘要：为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同 量（质量分数为0、 0.01%、 0.05%和0 .1%）的氮化硅粉,经注浆成型、 140°保温10 11干燥和1150°保温6 11 烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540 ℃,历时约52 h 的多晶硅铸锭过程,最后用 透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X 射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶 度和晶粒尺寸.结果表明：随着Si3N4添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相a-方石英的含量逐渐降低,
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
