作者:刘新红 宋煜伟 杨金松 朱晓燕 马腾mosi2发热元件硅钼棒空气气氛氮气气氛损毁机制
摘要:对分别在空气气氛中使用100炉和在氮气气氛中使用5炉后(每炉均设定为1500℃保温3 h)的国产MoSi2发热元件进行了XRD、SEM和EDS分析,并探讨了其损毁机制。结果表明:1)国产MoSi2发热元件未变层气孔较多,腐蚀性气体易通过气孔与MoSi2反应造成损毁,少量的杂质相也可加速损毁;2)MoSi2发热元件在空气气氛中损毁的原因在于SiO2玻璃相以SiO气体挥发致使电阻不均,局部过热;3)氮气气氛中不能形成保护性玻璃膜,N2和少量CO与MoSi2反应生成Mo5 Si3、Mo3 Si、Mo、Mo2 C和Si3 N4,使其变质损毁。
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