作者：吴祥晟; 王雷; 达悦; 李远林; 顾陈颖; 王...曝光机曝光灯高压水银灯电流保护延寿单效
摘要：光刻设备(曝光机)因其单价最贵,精度最高,在TFTLCD工艺中起着举足轻重的作用。其原理是通过照射特定紫外光源,透过掩膜版并在涂有光刻胶的玻璃基板上光刻形成特定的TFT图案。其主要采用高压水银灯作为紫外光源(图1)。曝光灯为一次性消耗品,更换周期短,价格贵,成本花费十分高昂。因此如何能够降低高压水银灯的成本成了最关键的课题。
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