作者：姚奇; 刘超applasma清洗成膜金属膜层strip
摘要：大气压等离子体具有大气压下操作不需要真空系统、常温、活性粒子浓度高等特点被广泛用于TFT行业清洗单元,主要作用为去除有机物,增加亲水性。但随着高PPI产品推出,金属线密度越来越大,Short型不良越来越多,本文研究存在有机药液残留的金属膜层在使用大气压Plasma处理后,残留的药液强等离子体作用下发生质变,在金属线之间层形成微弱的导体,严重时在后工序可形成薄弱的Y-Line,影响产品品质。本文论证该不良产生的原因,以期在实际生产中根据大气压Plasma处理前实际的膜层状况选择大气压Plasma使用状态,避免在去除有机物的同时带来更为严重的品质不良。
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