作者：许洁; 马勤二硅化钼发热元件失效分析碳化高温失效
摘要：对高温MoSi2发热元件碳化失效行为进行了研究，用XRD、SEM和电子探针对MoSi2发热元件碳化前后的物相构成、组织结构和断口形貌进行了分析比对．结果表明，经渗碳处理后的二硅化钼电热元件表层已经和CO2发生了反应，生成了较多的Mo2C，使得渗层组织变得非常疏松．因此，MoSi2发热元件不适宜在易造成碳化的气氛中使用．
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