作者：赵鹏玮; 叶璐; 胡文琦; 郑列华几何光学非球面辅助光学系统设计三级像差理论无像差双焦点半反半透非球面检验
摘要：将半反半透透镜应用于非球面检验。半反半透面和待检验面作为透镜的两个面,空间上相互靠近。半反半透面实现光线自准,同时也对波前进行补偿。这样,既消除了中心遮挡,又可以减小光学系统的尺寸,同时也增强了检验的能力。根据三级像差理论对这一方法进行了推导,进而给出了从待检面的参数得到检验系统参数的方法。根据这一方法设计了一个口径300 mm,焦距1200 mm凸反射镜的检验光路,通过光学设计软件ZEMAX进行优化,优化后系统的波像差小于1/(100λ),满足光学检验的要求。
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