作者：张自锋 张志威 洪荣墩 陈厦平 吴正云激光技术krf脉冲激光薄膜ti02光学特性
摘要：在常温下，用射频磁控溅射在石英衬底上沉积厚度约为200nm的Ti02薄膜，使用波长为248nm的KrF脉冲激光器，在不同功率密度下对薄膜样品进行辐照退火处理，并采用x射线衍射（xRD）、拉曼（Raman）、X射线电子能谱（XPS）、原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）、高分辨率扫描隧道显微镜（HRTEM）以及选择区域电子衍射（SAED）、紫外可见分光光度计等方法分析不同激光功率密度退火对Ti02薄膜的结构、表面形貌和透射率等性能的影响。结果表明当激光功率密度为0．5J／cm2时，可获得高质量的锐钛矿TiOe薄膜，当继续增大光功率密度时，Ti02薄膜变为（110）取向的金红石相，其薄膜表面粗糙度也相应增大。
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