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ZnO:Ag薄膜的结构对其紫外发光增强的研究

作者:金运姜 余庆选 刘书见 廖源薄膜光学氧化锌光致发光局部等离子共振

摘要:利用脉冲激光沉积方法(PLD),在Si(100)衬底上生长了银掺杂的氧化锌薄膜(ZnO:Ag),所用的激光波长分别是1064nm和355nm。通过X射线衍射分析发现,两种不同激光沉积样品的晶体结构有很大的区别。此外,由1064nm激光制备的ZnO:Ag薄膜,在氧气中800℃的条件下退火一个小时后,在其光致发光(PL)谱中发现,样品的紫外发光峰强度随薄膜中Ag含量增加而急剧增强,但在同样条件下处理的由355nm激光制备的薄膜,没有观察到类似现象。经过分析和比较,我们认为这种紫外发光增强的特殊现象,是ZnO:Ag薄膜中的纳米Ag颗粒所引起的局部等离子共振而导致。

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量子电子学报

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