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C掺杂GaAs外延层光学特性分析

作者:邢艳辉; 李建军; 邓军; 韩军; 盖红星; 沈...光电子学gaas掺杂光荧光谱x射线衍射

摘要:对利用EMCORE D125 MOCVD系统生长的以CCl4为掺杂源,分析不同C掺杂浓度的GaAs外延层光学特性。通过PL、DC XRD测试手段研究了掺C GaAs层,随C掺杂浓度增加,禁带宽度收缩,PL谱峰值半宽增大,晶格常数减小。

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量子电子学报

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