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半导体重入加工过程自动组合装置的建模与分析第320-325页
关键词: 自动组合装置  建模  重入过程  
半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析第11-18页
关键词: 自动组合装置  petri网  建模  非重入过程  
自动组合装置赋时有色Petri网模型的建立分析第252-256页
关键词: 自动组合装置  佩特里网  建模  仿真  
2007年第12期 《计算机仿真》
基于eM-Plant求解具有晶圆重入过程的单臂组合设备最优调度的仿真方法第26-32页
关键词: 自动组合装置  调度  晶圆制造  重入加工  仿真  
2012年第05期 《工业工程》
基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置第232-234页
关键词: 晶圆制造  自动组合装置  仿真  
2009年第10期 《计算机工程》