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基于Petri网的可重入双臂组合设备故障响应策略第3235-3246页
关键词: 晶圆制造  petri网  故障响应  组合设备  重入加工  
2019年第12期 《计算机集成制造系统》
基于eM-Plant求解具有晶圆重入过程的单臂组合设备最优调度的仿真方法第26-32页
关键词: 自动组合装置  调度  晶圆制造  重入加工  仿真  
2012年第05期 《工业工程》
基于可重入加工组合设备的建模与调度研究第772-782页
关键词: 晶圆制造  重入加工  组合设备  建模与仿真  调度  
2016年第04期 《系统仿真学报》
晶圆重入加工的组合设备终止暂态的调度与分析第655-664页
关键词: 晶圆制造  组合设备  重入加工  petri网  建模  调度  仿真  
2015年第05期 《控制理论与应用》
晶圆重入加工的组合设备初始暂态建模和分析第2072-2078页
关键词: 自动化组合设备  重入加工  建模与仿真  
2015年第08期 《计算机集成制造系统》
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