关键词: 迈克尔逊干涉  压电陶瓷驱动器  微定位工作台  

2006年第04期 《中国计量大学学报》

关键词: 微定位工作台  压电陶瓷驱动器  弹性铰链  

2004年第12期 《现代制造工程》

关键词: 微定位平台  压电陶瓷驱动器  动态性能  

2005年第12期 《组合机床与自动化加工技术》

关键词: 精密磨削  微进给平台  平面磨削  压电陶瓷驱动器  动态特性  研制  

2004年第04期 《制造技术与机床》

关键词: 微夹钳  放大机构  压电陶瓷驱动器  位移放大比  刚度矩阵  

2019年第04期 《压电与声光》

关键词: 压电陶瓷驱动器  滑模状态观测器  反演控制  迟滞  输出反馈控制  

2018年第01期 《科学技术与工程》

关键词: 压电陶瓷驱动器  迟滞性  动态多项式拟合  逆模型  afm  

2019年第04期 《传感技术学报》

关键词: 压电陶瓷驱动器  迟滞非线性规律  多项式关系  重复性  可预测  

2019年第08期 《光学精密工程》

关键词: 电子凸轮  谐综合  压电陶瓷驱动器  运动输出  

2005年第06期 《机械制造与自动化》

关键词: 压电陶瓷驱动器  preisach模型  三线性插值  迟滞  数值实现  

2018年第05期 《压电与声光》

关键词: 自适应光学  压电陶瓷驱动器  迟滞效应  神经网络  迟滞算子  

2019年第08期 《光电工程》

关键词: 压电陶瓷驱动器  电荷控制  双伺服环控制定位系统  控制精度  数控加工设备  dsp处理器  

2004年第03期 《机床与液压》

关键词: 压电陶瓷驱动器  活塞  仿形加工  

2004年第08期 《上海交通大学学报》

关键词: 压电陶瓷驱动器  驱动电源  功率放大器  反馈电路  

2004年第03期 《压电与声光》

关键词: 压电陶瓷驱动器  t型摩擦阻尼器  可调阻尼力  性能试验  

2005年第05期 《压电与声光》

关键词: 异形销孔  压电陶瓷驱动器  重复控制  

2005年第05期 《压电与声光》

关键词: 压电陶瓷驱动器  精密驱动  自由度  驱动原理  

2004年第03期 《压电与声光》

关键词: 误差分析  伺服控制系统  微操作机器人  压电陶瓷驱动器  

2004年第02期 《光电工程》

关键词: 精密工作台  控制系统  柔性铰链  压电陶瓷驱动器  

2005年第03期 《光电工程》

关键词: windows操作系统  软件定时器  设计  pentium  压电陶瓷驱动器  应用  高精度定时器  visual  计算机软件  多线程机制  精确定时  定时功能  定时精度  控制程序  模拟信号  试验结果  试验研究  微秒级  计数器  同频率  

2004年第05期 《机电一体化》