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基于SID算法的MEMS陀螺仪测控系统设计
第100-102页
关键词: 微陀螺 同步积分解调 锁相环 自动增益控制
2019年第12期
《传感器与微系统》
磁悬浮转子
微陀螺
的微细加工工艺研究
第68-72页
关键词: 磁悬浮 转子 微陀螺 微细加工工艺 平面线圈 体硅腐蚀
2004年第01期
《微细加工技术》
微型惯性测量组合的构成及标定技术
第241-243页
关键词: 微型惯性测量组合 微陀螺 微加速度计 标定
2005年第S1期
《弹箭与制导学报》
驱动微梁梁宽误差对
微陀螺
性能的影响
第12-15页
关键词: 微陀螺 梁宽误差 有限元分析 固有频率 模态耦合 检测信号
2018年第08期
《传感器与微系统》
金属多环振动盘MEMS
微陀螺
及其微加工工艺
第7-9页
关键词: 金属振子 多环结构 科式效应 微陀螺 动力学仿真 微加工工艺
2017年第12期
《传感器与微系统》
基于响应面法和遗传算法的多自由度
微陀螺
性能优化
第555-561页
关键词: 微陀螺 性能优化 响应面法 遗传算法 多目标优化
2019年第04期
《传感技术学报》
解耦型静电力闭环
微陀螺
第401-405页
关键词: 微机电系统 叉指驱动 微陀螺
2005年第02期
《传感技术学报》
驱动微梁形状对
微陀螺
仪耦合误差的影响分析
第48-53页
关键词: 微陀螺 加工误差 微梁形状 正交误差 模态耦合
2018年第01期
《传感技术学报》
先进
微陀螺
器件及微惯性测量单元最新研究进展
第410-415页
关键词: 微纳加工技术 微陀螺 微半球谐振陀螺 微光学陀螺 微惯性测量单元
2019年第03期
《压电与声光》
现代传感器中的微电容检测技术
第57-60页
关键词: 微电容检测 微加速度器 微陀螺 微压力传感器
2018年第19期
《电子制作》
磁悬浮转子
微陀螺
悬浮线圈的结构设计
第125-128页
关键词: 磁悬浮 微陀螺 线圈 微细加工
2005年第01期
《上海交通大学学报》
静电悬浮转子
微陀螺
及其关键技术
第61-67页
关键词: 微机电系统 微陀螺 微加速度计 转子 静电悬浮
2005年第06期
《中国惯性技术学报》
微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理
第24-27页
关键词: 微电子机械系统 mems 普通物理学 微传感器 有限元计算 微加速度计 微陀螺
2004年第02期
《中国传媒大学学报》
磁悬浮转子
微陀螺
中转子微加工方法的研究
第81-83页
关键词: 磁悬浮 微陀螺 转子 微机电系统 微细加工
2004年第03期
《机械设计与研究》
数字时间序列图像相关方法在动态变形测量中的应用
第119-122页
关键词: 数字时间序列图像相关方法 微陀螺 简谐振动 频率
2005年第B12期
《实验力学》
谐振式微机械惯性传感器
第1-4页
关键词: 谐振式 微机械惯性传感器 加速度微传感器 微陀螺
2005年第02期
《计测技术》
微机械梳状陀螺仪的瞬态分析
第118-120页
关键词: 仪器仪表技术 性能 瞬态分析 微陀螺 固有频率
2004年第02期
《太赫兹科学与电子信息学报》
参数激励驱动
微陀螺
系统的非线性振动特性研究
第102-107页
关键词: 微陀螺 静电力 主参数共振 多稳态现象 振幅跳跃现象
2017年第01期
《振动与冲击》
液浮支撑球碟转子式
微陀螺
:惯性器件新突破
第58-59页
关键词: 微陀螺 转子式 惯性器件 哈尔滨工业大学 支撑 微机械陀螺 纳米效应 运动界面
2016年第09期
《科技纵览》
磁悬浮转子
微陀螺
的电容检测系统分析和实现
第1-4页
关键词: 电容检测 相关解调 磁悬浮 微陀螺 微电子机械系统
2006年第01期
《测控技术》
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