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基于SID算法的MEMS陀螺仪测控系统设计第100-102页
关键词: 微陀螺  同步积分解调  锁相环  自动增益控制  
2019年第12期 《传感器与微系统》
磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究第68-72页
关键词: 磁悬浮  转子  微陀螺  微细加工工艺  平面线圈  体硅腐蚀  
2004年第01期 《微细加工技术》
微型惯性测量组合的构成及标定技术第241-243页
关键词: 微型惯性测量组合  微陀螺  微加速度计  标定  
2005年第S1期 《弹箭与制导学报》
驱动微梁梁宽误差对微陀螺性能的影响第12-15页
关键词: 微陀螺  梁宽误差  有限元分析  固有频率  模态耦合  检测信号  
2018年第08期 《传感器与微系统》
金属多环振动盘MEMS微陀螺及其微加工工艺第7-9页
关键词: 金属振子  多环结构  科式效应  微陀螺  动力学仿真  微加工工艺  
2017年第12期 《传感器与微系统》
基于响应面法和遗传算法的多自由度微陀螺性能优化第555-561页
关键词: 微陀螺  性能优化  响应面法  遗传算法  多目标优化  
2019年第04期 《传感技术学报》
解耦型静电力闭环微陀螺第401-405页
关键词: 微机电系统  叉指驱动  微陀螺  
2005年第02期 《传感技术学报》
驱动微梁形状对微陀螺仪耦合误差的影响分析第48-53页
关键词: 微陀螺  加工误差  微梁形状  正交误差  模态耦合  
2018年第01期 《传感技术学报》
先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展第410-415页
关键词: 微纳加工技术  微陀螺  微半球谐振陀螺  微光学陀螺  微惯性测量单元  
2019年第03期 《压电与声光》
现代传感器中的微电容检测技术第57-60页
关键词: 微电容检测  微加速度器  微陀螺  微压力传感器  
2018年第19期 《电子制作》
磁悬浮转子微陀螺悬浮线圈的结构设计第125-128页
关键词: 磁悬浮  微陀螺  线圈  微细加工  
静电悬浮转子微陀螺及其关键技术第61-67页
关键词: 微机电系统  微陀螺  微加速度计  转子  静电悬浮  
微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理第24-27页
关键词: 微电子机械系统  mems  普通物理学  微传感器  有限元计算  微加速度计  微陀螺  
磁悬浮转子微陀螺中转子微加工方法的研究第81-83页
关键词: 磁悬浮  微陀螺  转子  微机电系统  微细加工  
2004年第03期 《机械设计与研究》
数字时间序列图像相关方法在动态变形测量中的应用第119-122页
关键词: 数字时间序列图像相关方法  微陀螺  简谐振动  频率  
2005年第B12期 《实验力学》
谐振式微机械惯性传感器第1-4页
关键词: 谐振式  微机械惯性传感器  加速度微传感器  微陀螺  
2005年第02期 《计测技术》
微机械梳状陀螺仪的瞬态分析第118-120页
关键词: 仪器仪表技术  性能  瞬态分析  微陀螺  固有频率  
参数激励驱动微陀螺系统的非线性振动特性研究第102-107页
关键词: 微陀螺  静电力  主参数共振  多稳态现象  振幅跳跃现象  
2017年第01期 《振动与冲击》
液浮支撑球碟转子式微陀螺:惯性器件新突破第58-59页
关键词: 微陀螺  转子式  惯性器件  哈尔滨工业大学  支撑  微机械陀螺  纳米效应  运动界面  
2016年第09期 《科技纵览》
磁悬浮转子微陀螺的电容检测系统分析和实现第1-4页
关键词: 电容检测  相关解调  磁悬浮  微陀螺  微电子机械系统  
2006年第01期 《测控技术》