关键词: 粒度范围  马尔文  新型仪器  仪器控制  质量测量  产品安全性  调整能力  参数范围  负浮力  微型机电系统  

2013年第04期 《中国粉体工业》

关键词: 微型机械  纳米级精度  微型机电系统  超精密加工  扫描隧道显微镜  原子力显微镜  新进展  纳米科学  纳米科技  纳米材料  

2004年第09期 《工具技术》

关键词: 实用手册  超精密加工技术  超精密加工机床  主编  先进制造技术  微型机电系统  超精密车削  超精密磨削  微位移技术  制造工业  常用材料  光整加工  微细加工  特种加工  微型机械  测量技术  精密测量  补偿技术  在线检测  支持环境  

2005年第07期 《制造技术与机床》

关键词: 精密加工  超精密加工  先进制造技术  微细加工  微型机械  微型机电系统  

2004年第04期 《制造技术与机床》

关键词: 纳米科技  spm  纳米材料  微型机电系统  纳米技术  原子力显徽镜  超精密加工  

2004年第08期 《制造技术与机床》

关键词: 微观世界  微型机械加工  微型机电系统  尺度效应  加工精度  

2004年第05期 《现代物理知识》

关键词: 单晶硅  离子注入  表面改性  微观结构  微观摩擦磨损行为  微型机电系统  氩离子  半导体  

2004年第03期 《化学研究》

关键词: 毛细管电泳  微型机电系统  无接触电导检测  

2004年第05期 《色谱》

关键词: 微型机电系统  接触  粗糙表面  

2005年第Z1期 《计算机仿真》

关键词: 甲烷传感器  微型机电系统  脉冲供电  载体催化  mems催化元件  低功耗  

2018年第07期 《工矿自动化》

关键词: 测微系统  生理参数  微型机电系统  生物医学工程  新型传感器  体腔  上海交通大学  集成电路设计  精密机械  

2005年第11期 《机械设计与制造工程》

关键词: 衍射  光栅  光栅光阀  微型机电系统  

2005年第11期 《光学学报》

关键词: 多物理场仿真  压电轮廓模式谐振器  微型机电系统  

2018年第01期 《信息记录材料》

关键词: mems  麦克风  市场潜力  微型机电系统  音频信号处理  手机应用  单芯片  集成  

2007年第05期 《电子设计应用》

关键词: mems工艺  英飞凌  专用集成电路  电容变化  表面贴装  硅膜  微型机电系统  电学性能  计算机通讯  基带处理器  

2007年第02期 《半导体信息》

关键词: 微型机电系统  微尺度  微通道  气体流动  

2007年第01期 《重庆电力高等专科学校学报》

关键词: 陀螺仪  汽车电子技术  参考价值  系统功能  微型机电系统  爱特梅尔  角速率  隧道  工艺  实时  

2007年第04期 《工业设计》

关键词: 电池  供电系统  微型机电系统  固定电话  mems  半衰期  能量源  

2006年第03期 《今日电子》

关键词: 消费电子产品  电子市场  传感器  扩展  卡尔  产品功能  mems  微型机电系统  降低成本  功能集成  

2006年第04期 《电子技术应用》

关键词: 消费类电子产品  微型机电系统  麦克风  硅基  生产流程  全自动  电子元器件  通讯设备  

2006年第12期 《半导体技术》