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微细加工技术的应用和趋势第33-33页
关键词: 微机械  微机械加工技术  超微机械加工  光刻加工  
2013年第01期 《新一代信息技术》
超精密微机械制造技术研究第0095-0095页
关键词: 超精密加工  微机械  机械制造  
2019年第31期 《信息周刊》
一种适用于高动态强干扰环境的视觉辅助微机械捷联惯性导航系统/全球定位系统超紧组合导航系统第2241-2249页
关键词: 组合导航系统  捷联惯性导航系统  全球定位系统  微机械  高动态  强干扰  视觉  
2019年第11期 《兵工学报》
电容式MEMS加速度传感器技术第1-8页
关键词: 电容式加速度计  微机械  悬臂梁  电容检测  
2011年第03期 《集成电路通讯》
机械边鼓能冷却到量子基态第85-85页
关键词: 量子效应  微机械  基态  冷却  美国国家标准  科罗拉多大学  振动能量  声子耦合  
2012年第02期 《物理》
压电电子学和压电光电子学第556-557页
关键词: 压电效应  光电子学  应力作用  压电材料  锆钛酸铅  能源领域  微机械  绝缘体  
2010年第08期 《物理》
第一项由我国主导制定的微机电系统(MEMS)国际标准IEC 62047-25:2016正式第23-23页
关键词: 微机电系统  mems  微电子机械系统  标准化工作  微机械  微系统  批量生产  加工技术  亚毫米  行业标准制定  
新一代石墨烯制备技术 破解“定性不能定量”难题第48-48页
关键词: 石墨烯  允升  定量  微机械  加龙  制备新技术  零缺陷  能耗  为高  产率  
2017年第05期 《中国粉体工业》
颠覆未来作战的前沿技术系列之微系统技术第40-43页
关键词: 微系统技术  前沿技术  微流动  微机械  微能源  功能模块  技术领先优势  微电子产品  微光学  纳米工艺  
2015年第09期 《军事文摘》
微构件弯曲加载机构结构总体方案设计第107-107页
关键词: 微机械  材料力学  弯曲法  
2018年第06期 《冶金与材料》
微机械(MEMS)与微细加工技术第34-40页
关键词: 微机械  微细加工  mems  超精密机械加工  电子柬刻蚀  微细电火花加工  微细超声加工  
高g值高频响微机械加速度计研究第30-33页
关键词: 加速度  微机械  高g  有限元分析  
2005年第05期 《探测与控制学报》
第25届世界微机械会议在西工大召开第8-9页
关键词: 微机械  世界  中国工程院院士  西北工业大学  summit  纳米电子系统  日本东京大学  电子电器  
2019年第05期 《智能制造》
我,立方星第16-16页
关键词: 纳卫星技术  加州理工大学  斯坦福大学  设计思想  立方体  微电子  微机械  升空  
2019年第01期 《无线电》
军用微电子机械系统的应用及封装第21-26页
关键词: 微电子  微机械  微电子机械系统  封装  应用  
2005年第06期 《电子元器件应用》
微机械与MEMS产业将成为未来主流产业第17-17页
关键词: 微机械  主流产业  mems  奥林巴斯公司  微小化  机械产品  发展趋势  特殊应用领域  
2004年第02期 《半导体信息》
微电子机械系统的尺寸效应第145-148页
关键词: 微电子机械系统  尺寸效应  相对性  绝对性  微机械  
电磁激励的单晶Si微反射镜光开关的设计与制作技术第135-138页
关键词: 光开关阵列  微反射镜  全光网络  湿法腐蚀  寻址  器件  微机械  设计与制作  单元  外磁场  
2004年第03期 《光子技术》
微光机电系统在军事和民用领域的应用与展望第27-29页
关键词: 微电子  微光学元件  moems  微光机电系统  微机械  自对准  光开关  发展  降低成本  展望  
2004年第12期 《中国航天》
超精密加工技术在新形势下面临的任务第1-5页
关键词: 先进制造技术  智能化武器  超精密加工  微机械