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双极IC用双埋层图形衬底制备N/P异型硅外延结构第456-464页
关键词: 埋层外延  图形漂移  图形畸变  缓冲层  
温度对硅外延图形漂移的影响及监控第49-52页
关键词: 集成电路制造  外延  图形漂移  晶向  
2018年第03期 《集成电路应用》
Si外延过程中图形漂移的研究第691-694页
关键词: 图形漂移  外延  晶向  生长速率  埋层  淀积  
2009年第11期 《微纳电子技术》