pecvd论文_学术之家

垂直直立石墨烯纳米墙的制备及光热感应第82-86页

关键词: 石墨烯纳米墙比表面积光热

2019年第06期《宁波大学学报·理工版》

SiNx/SiOxNy叠层结构防潮能力的研究第643-648页

关键词: pecvd sinx sioxny 水汽渗透速率叠层弯曲

2019年第05期《半导体光电》

基于石英基底的PZT薄膜制备研究第106-108页

关键词: pecvd 氮化硅石英基底 pzt薄膜

2019年第12期《机电工程技术》

低介电常数含氟碳化膜微观性能分析第62-65页

关键词: pecvd 含氟碳化膜微观性能

2004年第04期《湖南理工学院学报·自然科学版》

太阳能电池PECVD工艺参数对生长氮化硅薄膜影响的研究第14-15页

关键词: pecvd 工艺参数氮化硅膜太阳能电池

2013年第02期《中国高新科技》

DBD—PECVD法制备高疏水性氟碳聚合物（a—C：F）薄膜的研究第45-50页

关键词: c4f8 接触角疏水特性

2009年第01期《大连民族大学学报》

管式PECVD镀膜均匀性的研究第100-102页

关键词: pecvd 电池片镀膜石墨舟

2019年第04期《山西能源学院学报》

PECVD沉积氮化硅薄膜的透过率研究第13-15页

关键词: 氮化硅薄膜透过率 pecvd

2012年第32期《科技创新导报》

不同镀膜流程对多晶硅背钝化效率和EL的影响第48-49页

关键词: pecvd 背正背流程舟印电池片效率背钝化 el ald

2018年第03期《太阳能》

一种彩色多晶硅太阳电池的制备方法及性能测试第29-31页

关键词: bipv 太阳电池彩色腐蚀减反射膜 pecvd

2018年第04期《太阳能》

PERC电池EL暗片研究第38-40页

关键词: perc pecvd ard 背钝化氧化铝 el暗片

2018年第05期《太阳能》

多晶硅薄膜的工艺研究第4-6页

关键词: 多晶硅薄膜退火

2004年第04期《材料热处理学报》

Dependence of Microstructure and Hardness of Nanocomposite Coatings of nc-（Ti1-xAlxN）／a-Si3N4 on Aluminum Contents第810-813页

关键词: pecvd 硬度纳米复合涂层热稳定性显微结构铝合金

2004年第05B期《材料热处理学报》

栅极氮化硅膜厚分布优化及产品性能的研究第47-52页

关键词: 氮化硅薄膜 pecvd 膜厚均匀性电极间距

2018年第02期《通信与广播电视》

低介电常数氟化非晶碳薄膜热稳定性的研究第51-54页

关键词: 热稳定性

2005年第02期《微细加工技术》

Ge1-xCx薄膜的制备及红外特性的研究第53-57页

关键词: pecvd 红外特性沉积速率

2005年第01期《材料工程》

PECVD氮化硅薄膜性质及工艺研究第81-86页

关键词: 半导体材料氮化硅薄膜

2019年第03期《光学仪器》

低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响第38-43页

关键词: 掺氮类金刚石薄膜 pecvd 碳氮键硬度残余应力

2019年第05期《哈尔滨工业大学学报》

如何运用建中L42812-1／ZM型平板单室PECVD淀积生长速率低于100A／min的致密SiO2膜层第60-64页

关键词: sio2膜层湿氧退火淀积速率

2005年第11期《深圳特区科技》

HADS产品DCS不良PECVD工艺改善研究第22-23页

关键词: 清洗工艺工艺改善 dcs pvx pecvd 镀膜

2019年第15期《电子世界》