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我国首条200 mm硅单晶抛光片生产线通过验收第31-31页
关键词: 抛光片  硅单晶  mm  示范工程项目  技术产业化  线宽  半导体器件  技术开发  技术创新  微电子领域  
2005年第03期 《半导体信息》
首条八英寸硅单晶抛光生产线在北京建成第3-3页
关键词: 北京有色金属  硅单晶  半导体器件  深亚微米  技术进步  线宽  自主知识产权  抛光片  研究成果  技术示范  
2004年第02期 《半导体信息》
200mm硅单晶抛光片项目通过验收第34-34页
关键词: 抛光片  硅单晶  产业化技术  自主知识产权  技术开发  技术产业化  线宽  研究成果  十年  
2004年第01期 《半导体信息》
北京半导体材料业蓬勃发展第23-23页
关键词: 北京中科  半导体材料  芯片生产线  半导体硅  砷化镓半导体  应用拓展  抛光片  硅单晶  生产基地  企业群体  
2004年第01期 《半导体信息》
200毫米硅单晶抛光片项目通过国家验收第40-40页
关键词: 硅单晶  抛光片  技术产业化  线宽  
2004年第03期 《半导体信息》
胶粘剂在光学加工研磨抛光材料中的应用第46-47页
关键词: 光学加工  超精磨片  抛光片  胶粘剂  环氧树脂  酚醛树脂  缩醛树脂  紫胶树脂  
2004年第01期 《粘接》
我国半导体硅材料的新发展第23-25页
关键词: 半导体硅材料  新发展  发展状况  市场状况  最新研究  高速发展  多晶硅  fz硅单晶  单晶硅  抛光片  
2004年第25期 《中国金属通报》
超薄锗片粘蜡工艺研究第297-300页
关键词: 超薄锗片  抛光片  粘蜡  表面形变  吸头  
2018年第05期 《电子工艺技术》
12英寸硅草晶抛光片的研制第78-82页
关键词: 信息产业发展  先导产业  现代经济  半导体工业  扩大  市场需求  世界  硅片  抛光片  集成电路  
2005年第01期 《中国集成电路》
半导体工业的发展概况(续)第10-16页
关键词: 公司  半导体工业  日本  金属工业  发展概况  合并  生产供应  lg  抛光片  硅片  
中国制造出8英寸硅单晶抛光片第8-8页
关键词: 硅单晶  抛光片  北京有色金属研究总院  集成电路  生产线  
2004年第01期 《稀有金属》
《半导体材料硅单晶抛光片的加工技术》第274-274页
关键词: 半导体材料  加工技术  抛光片  硅单晶  北京有色金属研究总院  化学工业出版社  股份有限公司  
2005年第03期 《稀有金属》
中科镓英半导体有限公司第32-32页
关键词: 北京  有限公司  iso9000体系  市场  产品  生产规模  质量认证机构  半导体  抛光片  砷化镓单晶  
2005年第01期 《新材料产业》
大庆佳昌成功拉制出国内第一根直径200mm砷化镓单晶第18-19页
关键词: 砷化镓  抛光片  重点攻关项目  通信电路  衬底材料  液封  技术团队  中国科学院  王永  
2006年第03期 《半导体信息》
我国直径300mm硅单晶抛光片生产实现零突破第29-29页
关键词: 抛光片  硅单晶  国际集成电路  集成电路技术  单晶生长  设备选型  二十一世纪  公司技术人员  制造技术  技术方案设计  
2006年第06期 《半导体信息》
有研硅股 构筑全球竞争力第48-49页
关键词: 全球竞争力  半导体材料  生产线  半导体市场  供应商  英寸  大单晶  供应厂商  产能  抛光片  
2007年第16期 《证券导刊》
低缺陷掺氮直拉硅单量抛光片第30-31页
关键词: 直拉硅  掺氮  抛光片  缺陷  熔体反应  精确控制  掺入量  气相  
2007年第08期 《中国集成电路》
直径12英寸硅单晶抛光片第54-55页
关键词: 硅单晶  抛光片  直径  单晶生长  精密控制  成套技术  自主创新  热场设计  
2007年第07期 《中国集成电路》
半导体单晶抛光片清洗工艺分析第1049-1051页
关键词: 半导体  抛光片  清洗工艺  
2007年第12期 《半导体技术》
VB GaAs抛光片几何参数控制技术研究第964-966页
关键词: 几何参数  控制技术  vbgaas  抛光片  
2007年第11期 《半导体技术》