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N2分压对（Ti，A1）N涂层成分、结构及力学性能的影响水第51-54页
关键词: 电弧离子镀  n2分压  
2012年第03期 《深圳职业技术学院学报》
Si（100）衬底上激光分子束外延制备高质量TiN薄膜第55-57页
关键词: tin薄膜  n2分压  激光脉冲能量  晶体结构  生长模式  
2011年第03期 《真空》
氮分压对磁控溅射制备TaN薄膜性能的影响第46-48页
关键词: tan薄膜  磁控溅射  n2分压  方阻  电阻温度系数  
2009年第06期 《电子元件与材料》
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